MEMS掃描激光雷達(dá)光學(xué)元件介紹

2024-07-03 派大星

MEMS掃描激光雷達(dá),即采用微機(jī)電系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS)技術(shù)的激光雷達(dá)系統(tǒng),通過將激光發(fā)射、接收和掃描等核心部件微型化并集成到芯片上,實(shí)現(xiàn)了激光雷達(dá)設(shè)備的小型化、低成本化和高性能化。這種激光雷達(dá)在自動駕駛、機(jī)器人導(dǎo)航、工業(yè)自動化等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。

 MEMS掃描激光雷達(dá)光學(xué)元件介紹

(圖源網(wǎng)絡(luò),侵刪)

原理講解

MEMS掃描激光雷達(dá)的工作原理基于激光測距和掃描技術(shù)。它首先通過激光發(fā)射器發(fā)出激光束,激光束經(jīng)過準(zhǔn)直系統(tǒng)后形成平行光束,并照射到目標(biāo)物體上。部分激光被目標(biāo)物體反射回來,被光電探測器接收。通過測量激光束從發(fā)射到接收的時間差(飛行時間,ToF),結(jié)合光速等物理參數(shù),可以計(jì)算出目標(biāo)物體與激光雷達(dá)之間的距離。同時,利用MEMS微振鏡的快速精確運(yùn)動,激光束可以在不同方向上進(jìn)行掃描,從而實(shí)現(xiàn)對目標(biāo)物體的三維成像。

 MEMS掃描激光雷達(dá)三維成像

(圖源網(wǎng)絡(luò),侵刪)


光學(xué)元件介紹及原理應(yīng)用

基于MEMS掃描激光雷達(dá)的原理,其關(guān)鍵光學(xué)元件主要包括:

激光發(fā)射器

功能特點(diǎn):產(chǎn)生并發(fā)出激光束,通常采用高功率、窄線寬的半導(dǎo)體激光器,以確保激光束的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。這些激光器能夠產(chǎn)生足夠的能量以進(jìn)行長距離測量,并且具有較窄的光譜線寬以減少測量誤差。

 

準(zhǔn)直系統(tǒng)

功能:對激光發(fā)射器發(fā)出的激光束進(jìn)行準(zhǔn)直,以消除其發(fā)散角,提高光束的方向性和直線性。

特點(diǎn):準(zhǔn)直系統(tǒng)通常包括一系列透鏡或反射鏡,用于調(diào)整激光束的發(fā)散角,使其以平行光束的形式射出。這樣可以確保激光束在掃描過程中保持穩(wěn)定的方向性和直線性,提高測量的精度和可靠性。

 

MEMS微振鏡

功能:作為掃描元件,通過精確控制反射鏡的偏轉(zhuǎn),實(shí)現(xiàn)對激光束的掃描。

結(jié)構(gòu)特點(diǎn):MEMS微振鏡由微型梁和微型鏡組成,通過電機(jī)或電磁場控制改變方向。這些微型結(jié)構(gòu)能夠在極小的空間內(nèi)實(shí)現(xiàn)高精度的角度控制。

驅(qū)動方式:包括靜電驅(qū)動、電磁驅(qū)動、電熱驅(qū)動和壓電驅(qū)動等。不同的驅(qū)動方式具有各自的優(yōu)缺點(diǎn),但都能實(shí)現(xiàn)MEMS微振鏡的快速精確運(yùn)動。

掃描模式:根據(jù)應(yīng)用需求,MEMS微振鏡可以實(shí)現(xiàn)一維或二維掃描。一維掃描適用于簡單的線性測量或掃描任務(wù);二維掃描則能夠?qū)崿F(xiàn)對復(fù)雜環(huán)境的全方位感知和成像。

 

掃描角度與頻率:對于自動駕駛等應(yīng)用,MEMS微振鏡的掃描角度和頻率需要滿足特定的要求。例如,雙軸MEMS激光雷達(dá)的橫軸(水平方向)掃描頻率通常在0.5-2KHz之間,縱軸(垂直方向)掃描頻率在10-30Hz之間。這些參數(shù)的選擇取決于具體的應(yīng)用場景和性能需求。


光電探測器

功能特點(diǎn):接收被目標(biāo)物體反射回來的激光信號,并將其轉(zhuǎn)化為電信號進(jìn)行處理。

光電探測器具有高靈敏度和低噪聲特性,能夠確保對微弱光信號的準(zhǔn)確檢測。這些探測器通常采用光電二極管或雪崩光電二極管等敏感元件制成,能夠在極短的時間內(nèi)響應(yīng)并捕捉到返回的激光信號。

 

應(yīng)用領(lǐng)域及未來前景

應(yīng)用領(lǐng)域

自動駕駛:MEMS掃描激光雷達(dá)是自動駕駛汽車中不可或缺的環(huán)境感知傳感器之一。它能夠?qū)崟r獲取車輛周圍的三維環(huán)境信息,為自動駕駛系統(tǒng)提供精確的障礙物檢測、路徑規(guī)劃和避障決策等支持。

機(jī)器人導(dǎo)航:在機(jī)器人領(lǐng)域,MEMS掃描激光雷達(dá)可用于機(jī)器人的自主導(dǎo)航和避障。通過構(gòu)建周圍環(huán)境的三維地圖,機(jī)器人能夠?qū)崿F(xiàn)自主移動和精確定位。

工業(yè)自動化:在工業(yè)自動化生產(chǎn)線中,MEMS掃描激光雷達(dá)可用于精密測量、質(zhì)量檢測和自動化控制等任務(wù)。其高分辨率和高精度特性能夠滿足工業(yè)生產(chǎn)中對精確度和效率的高要求。

測繪與遙感:在地理測繪和遙感領(lǐng)域,MEMS掃描激光雷達(dá)能夠高效、準(zhǔn)確地獲取地形數(shù)據(jù)和環(huán)境信息。這些數(shù)據(jù)對于城市規(guī)劃、資源勘探和環(huán)境監(jiān)測等方面具有重要意義。

 

未來前景

隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步和成本的進(jìn)一步降低,MEMS掃描激光雷達(dá)有望在更多領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)普及和應(yīng)用。特別是在自動駕駛和機(jī)器人等領(lǐng)域中,MEMS掃描激光雷達(dá)將成為實(shí)現(xiàn)智能化、自主化的關(guān)鍵技術(shù)之一。未來,隨著新能源汽車市場的不斷擴(kuò)大和自動駕駛技術(shù)的日益成熟,MEMS掃描激光雷達(dá)的市場需求將持續(xù)增長。同時,隨著制造工藝和技術(shù)的不斷創(chuàng)新和提升,MEMS掃描激光雷達(dá)的性能將不斷提升,成本將進(jìn)一步降低,為更廣泛的應(yīng)用場景提供有力支持。