反射鏡的分類介紹

一、平面反射鏡

1.介質(zhì)膜反射鏡：在光學(xué)元件表面鍍多層介質(zhì)膜，使得某一波段干涉疊加，從而增強(qiáng)反射率。介質(zhì)膜反射率較高，可在寬波長譜區(qū)使用，膜沒有對光的吸收，膜較硬不易受損，適用于多波長激光的光學(xué)系統(tǒng)。該類反射鏡膜層較厚，角度敏感，成本較高。

2.激光線反射鏡：激光線反射鏡的基片材料為紫外熔融石英，其表面的高反射膜為Nd:YAG介質(zhì)膜，采用電子束蒸鍍和離子輔助沉積的工藝鍍制而成。相較于K9材質(zhì)，紫外熔融石英具有更好的均勻性和更低的熱膨脹系數(shù)，使其特別適合應(yīng)用于紫外到近紅外波段，高功率激光和成像領(lǐng)域。常見的激光線反射鏡的工作波長有266 nm、355 nm、532 nm和1064 nm四種，入射角度分為0-45°或45°兩種，反射率高達(dá)97%以上。

3.超快反射鏡：超快反射鏡的基片材料為熔融石英，其表面的高反射膜為低群延遲色散介質(zhì)膜，采用離子束濺射（IBS）的工藝鍍制而成。熔融石英具有更低的熱膨脹系數(shù)和極高的熱震動(dòng)穩(wěn)定性，使其特別適用于高功率飛秒脈沖激光和成像領(lǐng)域。超快反射鏡常見的工作波長范圍有460 nm-590 nm、700 nm-930 nm、970 nm-1150 nm和1400 nm-1700 nm四種，光束從45°入射，反射率高達(dá)99.5%以上。

4.超級(jí)反射鏡：超級(jí)反射鏡通過在紫外熔融石英基底上鍍多層折射率高低交替的介質(zhì)反射膜制作而成，通過增加膜層數(shù)量提高反射率，可以使超級(jí)反射鏡在設(shè)計(jì)波長處的反射率優(yōu)于99.99%，適合用于反射率要求很高的光學(xué)系統(tǒng)。

5.金屬膜反射鏡：金屬膜反射鏡非常適用于寬譜光源光路偏轉(zhuǎn)，其在寬譜范圍內(nèi)具有較高的反射率。金屬膜在高濕度環(huán)境中很容易被氧化變色或脫落，因此金屬膜反射鏡一般在其表面鍍一層二氧化硅保護(hù)膜，用于隔絕金屬膜與空氣直接接觸，避免金屬膜被氧化影響光學(xué)性能。

二、直角棱鏡反射鏡

通常直角邊鍍增透膜，斜邊鍍反射膜。直角棱鏡本身有較大的接觸面積以及有45°，90°這樣典型的角度，所以，和普通的反射鏡相比， 直角棱鏡更容易安裝，對機(jī)械應(yīng)力具有更好的穩(wěn)定性和強(qiáng)度。它們是各類裝置和儀器用光學(xué)件的最佳選擇。

三、離軸拋物面反射鏡

離軸拋物面反射鏡是表面反射鏡，其反射表面是母拋物面中截取的一部分。利用離軸拋物面反射鏡可以聚焦平行光束或準(zhǔn)直點(diǎn)光源，其離軸設(shè)計(jì)可以使焦點(diǎn)從光路中分離出來。與透鏡相比，使用離軸拋物面反射鏡不會(huì)產(chǎn)生球差、色差，且不會(huì)引入相位延遲和吸收損耗，非常適用于飛秒脈沖激光器。

四、中空屋脊棱鏡反射鏡

1.GFAl鋁膜反射鏡：

鋁膜反射鏡分裸鋁膜反射鏡和保護(hù)鋁膜反射鏡，保護(hù)鋁膜反射鏡是在鋁膜上再鍍一層MgF2或SiO2，用于保護(hù)鋁膜不被擦傷或氧化。在所有入射角度都具有高反射率，可作為紫外光、可見光、近紅外光的反射鏡使用。

2.GFAu金膜反射鏡：

鍍有高反射率金膜的反射鏡可用于近紅外，紅外譜區(qū)的寬譜區(qū)，為了增強(qiáng)金膜的附著力，鍍有一層極薄的鉻質(zhì)底膜。硅基板的金膜附著力很強(qiáng)，導(dǎo)熱系數(shù)很高，耐熱性比玻璃基板好很多。由于是金膜，反射率或反射率波長特性不會(huì)隨入射角度發(fā)生大的變化。在紅外譜區(qū)具有很高的反射率，沒有反射的光被薄膜全部吸收，不會(huì)透過。

3.GFAg銀膜反射鏡：

從可見光到近紅外波段，平均反射率高。在銀膜上鍍了一層保護(hù)膜，可防止氧化，延長使用壽命。與鋁膜反射鏡相比，在可見光到近紅外波段反射率更高。與介質(zhì)膜反射鏡相比，反射率受入射角度的影響很小，可用于各種入射角度。鍍了保護(hù)膜，用布等擦拭時(shí)也不容易劃傷。

4.GFM 寬帶介質(zhì)膜反射鏡：

寬帶介質(zhì)膜反射鏡在寬波段內(nèi)反射率較高，適用于調(diào)波長激光器和白光。介質(zhì)膜反射鏡對入射角比較敏感，未說明的情況下，默認(rèn)的介質(zhì)膜反射鏡的入射角均為 45°。介質(zhì)膜幾乎沒有吸收，可以承受連續(xù)的激光照射。