平面度測(cè)量通常用的幾種方法
平面度(flatness;planeness),是屬于形位公差中的一種,指物體表面具有的宏觀凹凸高度相對(duì)理想平面的偏差。在傳統(tǒng)的檢測(cè)方法中,平面度的測(cè)量通常有:塞規(guī)/塞尺測(cè)量法、液平面法、激光平面干涉儀測(cè)量法(平晶干涉法)、水平儀/數(shù)字水平儀測(cè)量法、以及打表測(cè)量法。
塞尺測(cè)量法,只需一套可隨身攜帶的塞尺就可隨時(shí)隨地進(jìn)行平面度的粗測(cè)。目前很多工廠仍使用該方法進(jìn)行檢測(cè)。由于其精度不高,常規(guī)最薄塞尺為10um,檢測(cè)效率較低,結(jié)果不夠全面,只能檢測(cè)零件邊緣。
液平面法,基于連通器工作原理,適合測(cè)量連續(xù)或不連續(xù)的大平面的平面度,但測(cè)量時(shí)間長(zhǎng),且對(duì)溫度敏感,僅適用于測(cè)量精度較低的平面。
激光平面干涉儀測(cè)量法,最典型的用法是平晶干涉法。但主要于測(cè)量光潔的小平面的測(cè)量,如千分頭測(cè)量面,量規(guī)的工作面,光學(xué)透鏡。
水平儀測(cè)量法,廣泛用于工件表面的直線度和平面度測(cè)量。測(cè)量精度高、穩(wěn)定性好、體積小、攜帶方便。但是用該方法測(cè)量時(shí)需要反復(fù)挪動(dòng)儀器位置,記錄各測(cè)點(diǎn)的數(shù)據(jù),費(fèi)時(shí)、費(fèi)力,調(diào)整時(shí)間長(zhǎng),數(shù)據(jù)處理程序繁瑣。
打表測(cè)量法,典型應(yīng)用為平板測(cè)微儀及三坐標(biāo)儀,其中優(yōu)以三坐標(biāo)儀為應(yīng)用最廣泛。測(cè)量時(shí)指示器在待測(cè)樣品上移動(dòng),按選定的布點(diǎn)測(cè)取各測(cè)量點(diǎn)相對(duì)于測(cè)量基準(zhǔn)的數(shù)據(jù),再經(jīng)過(guò)數(shù)據(jù)處理評(píng)定出平面度誤差。但其效率較低,通常一個(gè)樣品需要幾分鐘,離15ppm的期望相差甚遠(yuǎn)。